车到物理所时,天色已经压到楼顶。
姜明把封口文件袋交给门卫登记,沿着走廊快步赶到半导体实验室,门还未推开,里面的示波器声和王守武的说话声已经透出来。
“姜工,先看这张。”
姜明推开门,酸洗液、无水酒精和烘箱余热混在一起,桌面铺满切开的硅片、断掉的引线与写废的工艺卡,三只示波器并排亮着,扫频曲线在荧光屏上向右延伸。
王守武俯身盯着其中一条,眼里布满血丝,手边的搪瓷杯早已凉透。
他迎上来,把一张登记表拍到姜明手里,纸角沾着显微镜油污,标题下方列着二十只试管编号,十五个编号被红铅笔圈出,旁边写着漏电过限,剩下五个编号各自标着结深、反向电流和截止频率。
“先别看废管,五只成了。”王守武把眼镜推回鼻梁,手指敲在最后一列,“三百一十二,三百二十七,三百零八,最高的一只三百四十一兆赫兹,扫频台换过两次校准源,结果都在这个范围。”
姜明顺着纸面看下去,目光在三百兆以上停住,随后落到前面的废品统计上。
车上那张“速归”的字条,此刻已经变成了桌面上这组足以改变器件路线的数字。
王守武等着他的判断,胸口起伏得快,手指还按在那几个数字旁边,像担心姜明只看见十五只报废管,忽略这五个足以改变路线的结果。
“测试条件。”姜明问。
“室温,集电极电压十二伏,基极偏置按第二组工艺卡,负载和锗管那批一致。”王守武把另一张记录递来,“测试台由林工重新接过地,方旭东刚才也拿点接触锗管作了参照,仪器读数稳定。”
旁边的研究员抱着一只器件盒,神色疲惫地说:“五只里有两只反向漏电已经贴近上限,另外三只的结深也不齐,剖面照片看着就叫人发愁,工艺再这样走,批量生产只能靠挑管子。”
“十五只废在氧化层。”另一名操作员把显微照片摊在桌上,“窗口边缘有针孔,扩散前沿从几处缺口钻进去,硼层宽窄差得太多,器件能响,寿命和一致性都撑不住。”
王守武的兴奋被这几句话压回去一段,他拿起最高频那只管子的工艺卡,卡片上的结深测量值分成三组,正面区域接近目标,边缘区域却向外散开,几处数字甚至超出原定窗口。
“硅把频率顶上去了,炉子却把工艺弄散了。”他说着,拇指在卡片边缘来回摩擦,“锗管的难处在材料上,硅管的难处落到表面和结
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