第182章 光刻机突破(第1页)

测试那天,林建国在实验室里转了三圈。

那台光刻机蹲在无尘间中央,银白色外壳上缠满传感器线,像爬了藤的老树。他站在玻璃窗外,盯着里头那片矽片,手心全是汗。

孙小梅在调参数。手指拧一下旋钮,看一眼屏幕,再拧一下。额头的汗珠子顺着脸颊淌,淌到下巴,滴在工作服上,洇出一小片深色。

「林组长,光源稳了。」

林建国凑到屏幕前。曲线还在跳,比刚才稳了些。

「再等等。」

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等了十分钟。曲线彻底平了。

林建国吸了口气,按下启动键。

机器转起来。嗡嗡的,像一群蜜蜂闷在玻璃罐里。矽片在工件台上缓缓移动,光源一闪一闪,把微小的图案刻上去。

十分钟。

二十分钟。

第三十五分钟,警报突然响了。

「滴——滴——滴——」

孙小梅脸白了:「曝光剂量飘了!正在往上窜!」

林建国扑到屏幕前。那条本该平直的绿线正斜着往上爬,照这个速度,用不了五分钟,整批矽片就得报废。

「怎麽回事?」

「不知道!反馈回路可能出问题了!」

林建国脑子空白了两秒。九十纳米,三个月的心血,全都在这台机器里转着。

他扭头看孙小梅。她盯着屏幕,手指悬在急停按钮上,在抖。

「别停。」林建国嗓子里像塞了沙子,「手动介入,给我往下压。」

孙小梅愣了半秒,咬牙把手收回来,开始拧那些平时根本不动的手动旋钮。她拧一下,看一眼屏幕,再拧一下。绿线还在爬,但爬得慢了。

林建国盯着墙上的倒计时。还有十六分钟。

「继续压。」

「压不动了!到底了!」

林建国冲过去,站在她身后:「把阻尼关了,强拧!」

孙小梅手一顿。关了阻尼,拧过头就是短路。

她没说话,伸手把阻尼开关拨上去,按住那个旋钮,一点一点往过拧。

绿线停了。

停在临界值上,轻轻发颤,就是不往上走了。

林建国屏住呼吸。

一分钟。

两分钟。
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